（正版9新包邮）飞秒激光微器件制备质量优化技术研究潘雪涛

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作者: 潘雪涛
出版社: 江苏大学出版社
ISBN: 9787568413022

出版时间: 2020-07
装帧: 平装
开本: 32开

作者: 潘雪涛
出版社: 江苏大学出版社

ISBN: 9787568413022
出版时间: 2020-07

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自然科学

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9787568413022

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作者简介
潘雪涛，1973年生，江苏常州人。1996年毕业于中国计量学院力学计量与测试专业，2008年获南京理工大学测试计量技术及仪器专业硕士学位，2017年获上海大学机械制造及其自动化专业博士学位。

目录
第一章  绪论

1.1  微器件制备质量优化的目的和意义

1.2  国内外研究概况

1.2.1  微加工技术概述

1.2.2  飞秒激光技术的发展

1.2.3  飞秒激光微加工特点及应用

1.2.4  飞秒激光双光子微加工研究概况

1.3  本书的主要内容

第二章  飞秒激光双光子微加工机理

2.1  引言

2.2  飞秒激光与物质的相互作用

2.2.1  激光与物质的相互作用

2.2.2  飞秒激光与物质相互作用的特性

2.3  双光子吸收原理

2.3.1  双光子吸收过程

2.3.2  双光子吸收的理论模型

2.4  飞秒激光双光子微加工的原理及特点

2.4.1  飞秒激光双光子微加工的原理

2.4.2  飞秒激光双光子微加工的特点

2.5  飞秒激光双光子聚合材料

2.5.1  自由基聚合材料

2.5.2  阳离子聚合材料

2.6  本章小结

第三章  飞秒激光微加工系统及器件制备

3.1  引言

3.2  飞秒激光微加工系统

3.2.1  实验系统的组成

3.2.2  飞秒激光光源

3.2.3  激光共焦光路

3.2.4  曝光控制系统

3.2.5  实时监测系统

3.2.6  软件系统

3.3  微器件的制备

3.3.1  扫描方式

3.3.2  曝光方式

3.3.3  影响飞秒激光微加工质量的因素分析

3.4  本章小结

第四章  折射率不同对微加工的影响及其补偿方法

4.1  引言

4.2  光在不同介质中传播的理论分析

4.3  加工点光斑强度的数值模拟

4.3.1  不同加工深度焦点光斑光强分布

4.3.2  不同折射率材料焦点光斑光强分布

4.3.3  不同数值孔径焦点光斑光强分布

4.4  像差计算及分析

4.5  像差补偿理论及实验

4.5.1  离焦点扩散函数

4.5.2  球差补偿模型

4.5.3  球差补偿数值模拟

4.5.4  球差补偿方法

4.5.5  球差补偿实验

4.6  本章小结

第五章  飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形

5.1  引言

5.2  加工点光斑模型

5.3  飞秒激光微加工光斑的轴向整形

5.3.1  轴向整形机理

5.3.2  轴向整形相位板的参数优化与数值模拟

5.4  飞秒激光微加工光斑的横向整形

5.4.1  横向整形机理

5.4.2  横向整形相位板的参数优化与数值模拟

5.5  飞秒激光微加工光斑的三维整形

5.5.1  三维整形相位板的参数优化与数值模拟

5.5.2  光斑三维整形实验

5.6  改善加工点光斑对称性的光束整形方法

5.6.1  通过增加柱透镜组对光束进行整形

5.6.2  通过增加预聚焦透镜对光束进行整形

5.6.3  通过引入狭缝光阑对光束进行整形

5.7  本章小结

第六章  扫描步距对微加工质量的影响及优化方法

6.1  引言

6.2  固化单元覆盖率的数学模型

6.2.1  固化单元的光强分布

6.2.2  覆盖率的数学模型

6.2.3  覆盖率对加工质量与加工效率的影响

6.3  扫描步距与微器件表面质量特征参数之间的定量

关系

6.3.1  理论分析

6.3.2  数值模拟

6.3.3  实验验证

6.4  连续变步距扫描加工方法

6.4.1  工作原理

6.4.2  实验验证

6.5  本章小结

第七章  结论与展望

7.1  结论

7.2  展望

参考文献

内容摘要
本书以作者攻读博士学位期间承担相关课题的工作为基础，围绕飞秒激光微器件制备质量优化中的若干问题，系统阐述了像差补偿、加工光斑三维整形以及扫描步距优化等方面的理论与实验研究。全书共分为七章，内容包括飞秒激光微加工领域国内外研究的现状、飞秒激光双光子微加工机理及系统、空气和被加工材料折射率不同对微加工的影响及其补偿方法、飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形、扫描步距对微器件表面质量的影响及其优化方法等。本书适合从事飞秒激光微加工研究的工程技术人员和科研人员使用和参考。
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