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叶超 著 / 科学出版社 / 2010-06 / 平装
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低气压低温等离子体诊断原理与技术
《低气压低温等离子体诊断原理与技术》较全面地介绍了低气压低温等离子体诊断技术的基础知识,总结了近年来该领域的一些新进展,提供了低气压低温等离子体诊断技术应用的实例。全书共7章。第1-3章主要介绍了等离子体的基本概念与性质,低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程。第4章着重讲述了低气压低温等离子体的探针诊断技术及其应用。第5章介绍了低气压低温等离子体的波干涉诊断技术。第6章和第7章分别讲述了低气压低温等离子体的光谱和质谱诊断技术及其应用。附录中,作者收集整理了部分原子、分子、离子发光的特征光谱谱线,以供读者在相关研究工作中参考。《低气压低温等离子体诊断原理与技术》可供进入低温等离子体技术领域学习与工作的研究生、本科生以及技术人员参考使用。
前言第1章等离子体基本概念和性质1.1等离子体概念1.1.1等离子体的定义1.1.2等离子体的分类1.2等离子体的导电性与准电中性1.2.1等离子体的导电性1.2.2等离子体的准电中性1.3等离子体的基本参量1.3.1等离子体密度与电离度1.3.2等离子体温度1.3.3德拜长度1.3.4等离子体鞘层1.3.5等离子体频率1.3.6等离子体的时空特征量1.4等离子体中带电粒子的扩散1.5低气压低温等离子体诊断方法概述参考文献第2章气体放电等离子体基础2.1直流辉光放电2.1.1帕邢定律2.1.2直流辉光放电特性2.2射频辉光放电2.2.1射频放电过程2.2.2射频等离子体中的自偏压2.2.3射频放电的优点2.2.4射频放电的产生方法2.3微波放电2.4微波电子回旋共振放电参考文献第3章等离子体化学基础3.1化学反应的表征3.2等离子体中的化学反应3.2.1同相反应3.2.2异相反应3.3化学反应链3.4等离子体与表面相互作用3.4.1等离子体与固体表面的物理作用3.4.2离子和电子诱导的表面化学反应3.4.3能量传递3.4.4对薄膜沉积的影响3.4.5等离子体诱导损伤参考文献第4章低气压低温等离子体的探针诊断4.1朗缪尔探针诊断的基本方法4.1.1朗缪尔探针结构与工作电路4.1.2朗缪尔探针的电压.电流特性4.1.3从探针I-V特性曲线获取等离子体参数4.1.4探针诊断的条件、优点与缺点4.1.5探针测量误差的主要来源4.2朗缪尔探针的基本理论4.2.1无碰撞鞘层4.2.2平面探针4.2.3圆柱形探针4.3非麦克斯韦分布的探针理论4.4各向异性等离子体的探针诊断4.5碰撞对探针诊断的影响4.6磁化等离子体中的朗缪尔探针4.6.1磁场的影响4.6.2磁化等离子体中的探针测量4.7射频等离子体中的朗缪尔探针4.7.1射频等离子体中的探针特性4.7.2射频补偿方法4.7.3无补偿的测量条件4.8朗缪尔探针方法的空间和时间分辨率4.8.1朗缪尔探针方法的空间分辨率4.8.2朗缪尔探针方法的时间分辨率4.9化学活性等离子体的探针诊断4.9.1化学活性等离子体中的探针污染4.9.2发射探针技术4.9.3电容耦合探针技术4.9.4悬浮探针技术4.9.5三探针技术4.9.6射频阻抗探针和等离子体振荡探针技术4.9.7热探针技术4.9.8探针表面的清洗方法4.10探针I-V特性的二次微分方法4.10.1探针I-V特性二次微分的微分电路法4.10.2探针I-V特性二次微分的交流测量法4.10.3探针I-V特性二次微分的数值微分法4.11双探针技术4.12其他探针技术4.12.1磁探针4.12.2能量分析器4.12.3射频电流探针4.13低气压低温等离子体的探针诊断应用实例4.13.1薄膜沉积的探针诊断4.13.2脉冲激光等离子体的探针诊断4.13.3尘埃等离子体的探针诊断4.13.4甚高频放电等离子体的探针诊断参考文献第5章低气压低温等离子体的波干涉诊断5.1微波干涉法5.2传输线微波干涉法5.3激光干涉法5.4激光双色干涉法参考文献第6章低气压低温等离子体的光谱诊断6.1等离子体光谱的产生机理6.2发射光谱6.2.1等离子体发射光谱的谱特性6.2.2发射光谱诊断的实验装置6.2.3发射光谱方法的优点与缺点6.3发射光谱的光化线强度测定法6.4等离子体温度的光谱测量6.4.1惰性示踪气体发射光谱法测量电子温度6.4.2光强比值法测量电子温度6.4.3发射光谱法测量分子转动温度、振动温度6.5吸收光谱6.5.1吸收光谱原理6.5.2吸收光谱实验装置6.6激光诱导荧光光谱6.6.1激光诱导荧光原理6.6.2激光诱导荧光光谱的实验装置6.6.3激光诱导荧光光谱方法的优点与缺点6.7光腔衰荡光谱6.7.1光腔衰荡光谱原理6.7.2光腔衰荡光谱实验装置6.7.3光腔衰荡光谱实验数据的获得6.8低气压低温等离子体的光谱诊断应用实例6.8.1C基气体分子放电等离子体的光谱诊断6.8.2Si基气体分子放电等离子体的光谱诊断6.8.3F基气体分子放电等离子体的光谱诊断6.8.4等离子体材料加工工艺的终点探测参考文献第7章低气压低温等离子体的质谱诊断7.1质谱诊断的基本原理7.2四极质谱仪7.2.1四极质谱仪的主要结构与工作原理7.2.2四极质谱仪的分辨率7.2.3四极质谱仪的标定7.2.4四极质谱仪的优点与缺点7.2.5AccuQuad100D四极质谱仪介绍7.3飞行时间质谱仪7.4磁偏转质谱仪7.5质谱仪与等离子体系统的连接7.5.1机械连接7.5.2电连接7.6质谱数据的表示方法7.6.1质谱数据的表示7.6.2图形系数7.7中性气体的质谱分析7.7.1中性气体的四极质谱分析技术7.7.2中性气体质谱的成分识别7.7.3中性气体质谱的相对浓度测定7.8离子的质谱分析7.8.1离子的四极质谱分析技术7.8.2离子密度与离子能量分布的确定7.8.3等离子体的离子质谱分析7.9用质谱确定等离子体物理基本数据7.10低气压低温等离子体的质谱诊断应用实例7.10.1Si基分子放电等离子体的质谱分析7.10.2C基分子放电等离子体的质谱分析7.10.3F基分子放电等离子体的质谱分析7.10.4脉冲激光烧蚀Ni、Al、ZnO靶的四极质谱和飞行时间质谱分析参考文献附录部分受激原子、分子、离子发光特征谱线表参考文献
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开播时间:09月02日 10:30