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郭隐彪 、 杨平 、 王振忠 著 / 国防工业出版社 / 2014-11 / 精装
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上书时间2020-06-06
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先进光学元件微纳制造与精密检测技术
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。
第1章绪论1.1先进光学元件的应用及制造技术要求1.1.1先进光学元件的特点1.1.2先进光学元件的应用1.1.3先进光学元件的制造技术要求1.1.4先进光学元件的制造技术范畴1.2先进光学元件的制造技术1.2.1光学元件的模压成形技术1.2.2光学元件的精密切削技术1.2.3光学元件的精密磨削加工技术1.2.4光学元件精密研抛技术1.2.5精密光学加工环境控制技术1.3先进光学元件的检测与评价技术1.3.1先进光学元件的检测要求及难点1.3.2光学元件的检测技术1.3.3光学误差的评价方法参考文献第2章先进光学元件加工装备技术2.1机床设计理论2.1.1机床设计要求2.1.2机床设计方法2.2超精密机床关键部件及技术2.2.1主轴部件2.2.2直线导轨部件2.2.3微位移进给部件2.3超精密机床数控技术2.3.1数控技术2.3.2超精密加工数控系统2.3.3开放式数控系统2.3.4超精密磨床数控电气设计实例2.4超精密磨削加工装备2.4.1超精密加工装备技术综述2.4.2超精密磨削成形机床2.5超精密加工工具技术2.5.1超精密切削加工刀具技术2.5.2超精密磨削砂轮技术参考文献第3章先进光学元件磨削技术3.1超精密磨削加工发展3.1.1先进光学元件磨削技术概述3.1.2延性磨削和镜面磨削3.2超精密磨削过程分析3.2.1超精密磨削机理3.2.2磨削过程基本参数3.3超精密磨削加工关键技术3.4砂轮修整3.4.1杯形砂轮修整3.4.2ELID在线电解修整3.4.3放电修整3.4.4激光修整3.4.5微小型磨削砂轮修整技术3.5非球面磨削加工技术3.5.1微小非球面加工技术3.5.2大口径非球面磨削加工技术3.5.3自由曲面磨削加工技术3.6工艺软件设计开发3.6.1数控编程格式3.6.2微小型非球面工艺软件开发实例3.6.3大口径非球面工艺软件开发实例3.7超声振动复合磨削加工技术3.8加工实例参考文献第4章先进光学元件抛光技术4.1超精密抛光加工发展4.2平面光学元件抛光技术4.2.1平面抛光原理4.2.2平面抛光轨迹控制4.2.3平面抛光材料去除模型4.3非球面光学元件抛光技术4.3.1非球面气囊抛光原理4.3.2轴对称非球面气囊抛光进动运动控制4.3.3自由曲面气囊抛光进动运动控制4.3.4气囊抛光材料去除模型参考文献第5章先进光学元件精密检测技术5.1基于坐标测量的非球面元件检测技术5.1.1摆臂式轮廓检测法5.1.2长行程轮廓检测法5.1.3五棱镜轮廓检测法5.2基于波面干涉测量的非球面检测技术5.2.1零位干涉检测技术5.2.2非零位干涉检测技术5.3光学非球面精密检测平台5.3.1小型光学非球面精密检测平台5.3.2大型光朝E球面精密检测平台参考文献第6章先进光学元件精密检测中的数据处理技术6.1先进光学元件检测轨迹规划6.1.1基于坐标测量的轨迹规划6.1.2基于子孔径干涉测量的轨迹规划6.2大口径光学元件检测中的数据处理技术6.2.1分段轮廓测量的数据处理技术6.2.2子孔径拼接的数据处理技术6.3光学元件在线检测系统数据处理技术研究6.3.1数据处理系统总体设计6.3.2数据预处理6.3.3误差补偿及结果参考文献第7章先进光学元件制造加工环境监控技术7.1超精密加工环境监控技术概述7.1.1加工环境监控与诊断技术进展7.1.2嵌入式无线监控和诊断技术进展7.2超精密加工环境无线监控系统原理7.2.1加工环境无线监控系统构成7.2.2加工环境无线监控对象7.2.3加工环境无线监控系统网络7.3加工环境无线监控系统技术体系7.3.1系统硬件组成7.3.2系统软件组成7.4加工环境无线监控系统监控实例参考文献第8章光学元件制造的亚表面损伤检测与控制8.1亚表面损伤概述8.1.1表面质量与完整性的研究内容8.1.2亚表面损伤的表现形式8.1.3亚表面损伤对元件光学性能的影响8.2亚表面损伤的形成机理8.2.1亚表面裂纹的形成机理8.2.2亚表面层残余应力的形成机理8.2.3亚表面层材料组织变化机理8.3亚表面损伤的检测与评价8.3.1损伤性检测技术8.3.2无损检测技术8.3.3亚表面损伤的评价8.3.4亚表面损伤的预测8.4光学元件制造的亚表面损伤控制8.4.1脆性材料的延展性去除加工技术8.4.2脆性材料的半延展性去除加工技术参考文献
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开播时间:09月02日 10:30