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[法]帕斯卡·夏伯特、[英]尼古拉斯·布雷斯韦特 著; 王友年 、 徐军 、 宋远红 译 / 科学出版社 / 2015-10 / 平装
售价 ¥ 777777.26
品相 九品
上书时间2024-05-07
射频等离子体物理学
从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源,低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色,而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。《射频等离子体物理学》主要聚焦在物理学方面,所以主要适用于应用物理及电子工程专业的研究生及科研人员。
《射频等离子体物理学》不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述,同时也包括一些等离子体物理基础知识,如有界等离子体的输运及电学诊断。《射频等离子体物理学》的风格有助于激发读者学习的兴趣,帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实例分析,将理论应用到实际问题中,并留有超过100道的简答题,让读者能够快速掌握新知识,有信心解决与实验相关的物理问题。
第1章 概论1.1 等离子体1.2 微电子学中的等离子体工艺1.3 等离子体推进1.4 射频等离子体:E-H和w模式1.5 内容简介第2章 等离子体动力学与平衡2.1 微观描述2.2 宏观描述2.3 整体粒子和能量平衡2.4 电动力学描述2.5 本章 总结第3章 有界等离子体3.1 空间电荷鞘层区3.2 等离子体/鞘层过渡3.3 等离子体区:输运模型3.4 本章 总结第4章 射频鞘层4.1 响应时间4.2 离子动力学4.3 电子动力学4.4 (高频)RF鞘层的解析模型4.5 重要结果归纳第5章 单频容性耦合等离子体5.1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型5.2 非均匀离子密度的电流驱动模型5.3 整体模型5.4 其他放电参数范围及放电位形5.5 重要结果归纳第6章 多频容性耦合等离子体6.1 静电近似下的双频CCP6.2 高频情况下的电磁模式6.3 重要结果归纳第7章 感性耦合等离子体7.1 电磁模型7.2 等离子体自身的阻抗7.3 变压器模型7.4 纯感性放电的功率转换效率7.5 容性耦合7.6 整体模型7.7 重要结果归纳7.8 进一步考虑第8章 螺旋波等离子体8.1 在无界等离子体中的平行传播8.2 柱状等离子体中传播的螺旋波8.3 螺旋波模式存在的条件8.4 波功率的吸收:加热8.5 E-H-w模式转换8.6 重要结果归纳第9章 真实等离子体9.1 高密度等离子体9.2 磁化等离子体9.3 电负性等离子体9.4 扩展等离子体第10章 电测量10.1 静电探针10.2 用于射频等离子体的静电探针10.3 减速场分析器10.4 共振及波诊断10.5 重要结果归纳附录:习题解参考文献
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开播时间:09月02日 10:30