微机电器件设计及工程应用(高等学校通用教材) 大中专理科电工电子 郭占社，周富强编
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作者:
郭占社，周富强编
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出版社:
北京航空航天大学出版社
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ISBN:
9787512434561
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出版时间:
2021-03
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版次:
1
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装帧:
平装
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开本:
16
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页数:
222页
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出版时间:
2021-03
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版次:
1
-
装帧:
平装
售价
￥
19.60
4.0折
定价
￥49.00
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上书时间2024-04-06
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目录：
章 绪论
1.1 微机电系统概述
1.2 微机电系统的发展历程
1.3 mems cad
参文献
第2章 典型mems元件及理论基础
2.1 mems静电梳齿理论
2.1.1 概述
2.1.2 结构工作
2.1.3 理想状况下板电容理论
2.1.4 修正计算模型推导
2.1.5 理想状况下静电梳齿驱动器驱动力的计算
2.1.6 静电梳齿驱动器微弱电容检测方法
2.2 mems悬臂梁理论
2.2.1 概述
2.2.2 悬臂梁理论计算方法
2.2.3 单端固支梁轴向拉压相关理论计算
2.2.4 双端固支梁轴向拉压相关理论计算
2.3 mems薄膜理论
2.4 小结
参文献
第3章 mems材料
3.1 概述
3.2 单晶硅
3.2.1 单晶硅材料的特点
3.2.2 单晶硅的晶向
3.3 多晶硅
3.4 二氧化硅
3.5 压电材料
3.5.1 压电材料的正压电效应与逆压电效应
3.5.2 石英晶体
3.5.3 压电陶瓷
3.6 其他m：ems材料
3.7 小结
参文献
第4章 mems工艺
4.1 概述
4.2 mems光刻工艺
4.3 关键光刻工艺理论
4.3.1 硅片清洗
4.3.2 硅片氧化
4.3.3 匀胶工艺
4.3.4 前烘
4.3.5 曝光
4.3.6 显影
4.3.7 坚膜
4.3.8 开二氧化硅窗
4.4 mems后续工艺
4.4.1 体硅工艺
4.4.2 表面硅工艺
4.4.3 liga：艺
4.4.4 溅工艺
4.4.5 剥离工艺
4.4.6 键合工艺
4.5 薄膜制备技术
4.6 多种工艺组合生成mems器件工程实例
4.6.1 概述
4.6.2 谐振式硅微机械陀螺制作工艺
4.6.3 电磁型面微电机制作工艺
4.7 小结
参文献
第5章 微尺度下mems器件摩擦磨损问题
5.1 概述
5.2 mems摩擦学问题
5.2.1 mems摩擦学问题简介
5.2.2 可动微机电器件摩擦磨损测试方法的外发展现状
5.2.3 一种片上微摩擦学测试结构的设计
5.3 mems器件中的磨损问题研究及测试
5.4 小结
参文献
第6章 典型参数的mems测试方法
6.1 概述
6.2 加速度测试及对应mems传感器
6.2.1 加速度传感器的工作及分类
6.2.2 电容式硅微机械加速度传感器
6.2.3 压阻式硅微机械加速度传感器
6.2.4 压电式硅微机械加速度传感器
6.2.5 谐振式硅微机械加速度传感器
6.3 角速度测试及其传感器
6.3.1 工作
6.3.2 发展历程
6.3.3 微机械陀螺的分类
6.4 压力测试及其传感器
6.4.1 工作
6.4.2 硅谐振式压力传感器及其发展
6.5 力矩测试方法
6.5.1 概述
6.5.2 非接触式动态微力矩测试仪工作
6.5.3 非接触式动态微力矩测试仪控制程序的软件实现
6.5.4 仪器输出力矩精度分析
6.5.5 电磁型面微电机转速一输出力矩关系测试
6.5.6 输出力矩一转速关系的小二乘法合成
6.6 形貌测试方法
6.7 小结
参文献
第7章 有限元法在微机电器件设计中的应用实例
7.1 概述
7.2 软件中的重要概念
7.3 ansys软件界面介绍
7.4 ansys中的坐标系
7.5 工程实例
7.5.1 单端固支梁静态分析
7.5.2 双端固支梁模态分析
7.5.3 梳齿电容驱动器分析
7.5.4 疲劳强度计算实例
7.6 小结
内容简介：
本书对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上，以微机电系统中常用的核心器件为对象，结合大量工程实例，采用any软件，详细介绍了采用有限元技术对其设计可行进行验证的方法，包括结构的静力学、模态、静电、热力学以及疲劳等，为相关研究在有限元技术方面提供的技术支持。
本书可作为从事mem设计人员的参书，也可作为相关专业的教材。
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