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外书脊处稍损,具体见图,内新未翻阅
卢桂章 、 赵新 著 / 科学出版社 / 2010-10 / 平装
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定价 ¥56.00
品相 八五品品相描述
上书时间2021-12-01
微机电系统设计:建模、仿真与可视化
《微机电系统设计:建模、仿真与可视化》建立了一种微电子机械器件的设计方法,对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善,其基本思路是在设计阶段,当版图和工艺设计完成后,通过建立运动部件的动态模型,进行三维可视化仿真,形成器件在虚拟环境中运行,从而对器件的运动功能进行评测。这种功能主要体现在:应用三维可视化技术得到器件加工后的三维实体模型和进行可加工性验证;对此实体模型进行动态建模,并进行虚拟运行,以考察其运动性能;建立基于IP库的设计系统,提供了一种自顶向下和自底向上相结合的设计手段。系统是开放的,各种功能都有延伸发展的空间。
《微机电系统设计:建模、仿真与可视化》可供微电子机械设计人员参考使用,也可作为相关专业高年级本科生和研究生的专业课教材和学习参考书。
前言第1章绪论1.1MEMS发展历史的简要回顾1.2MEMS应用一瞥1.2.1传感微系统1.2.2微执行器1.2.3信息微系统1.2.4生物微系统1.2.5军事用:MEMS器件1.3MEMS设计现状概述1.3.1系统级仿真1.3.2器件级仿真1.3.3工艺级仿真1.4当前MEMS设计存在的问题及其解决途径1.4.1MEMS与IC的差别及其对设计的影响1.4.2动态性能的建模仿真与虚拟运行1.4.3IP库与虚拟工艺1.4.4关于设计方法学的一些思考参考文献第2章微机电系统工艺级仿真——虚拟工艺技术2.1.虚拟工艺的一般概念2.1.1MEMS的工艺仿真2.1.2什么是虚拟工艺2.1.3虚拟工艺的两种技术路线2.2微机电系统制造工艺2.2.1光刻2.2.2表面硅工艺2.2.3体硅工艺2.2.4键合工艺2.2.5LIGAX:艺2.2.6其他工艺2.3基于专家知识的工艺流程仿真2.3.1基于体块模型的虚拟工艺2.3.2基于体素(voxel)模型的虚拟工艺2.4基于物理模型的MEMS工艺仿真2.4.1投影式光学光刻工艺仿真2.4.2DRIE2工艺仿真2.5小结参考文献第3章微机电系统的行为级仿真建模方法3.1基于机理的动态模型建模方法3.1.1微悬臂梁动力学模型3.1.2微加速度计的动态模型3.1.3微马达的动态模型3.2基于系统辨识的动态模型建模方法3.2.1基于系统辨识的建模方法3.2.2基于系统辨识的建模方法的实施过程3.3MEMS器件动态模型建模实例3.3.1电容式微加速度计的动态模型3.3.2微流量泵的动态模型3.4基于标准等效结构的建模方法3.4.1基本思路和一些概念3.4.2等效到机械域的等效结构建模方法3.5电路标准等效模型的建模与仿真方法3.5.1基本思路和一些概念3.5.2标准等效结构模型3.5.3静电换能器模型3.6采用VHDLAMS语言的建模与仿真方法3.6.1VHDLAMS建模方法3.6.2微加速度计的VHDLAMS语言建模与仿真3.7小结参考文献第4章微机电系统的虚拟运行4.1虚拟运行的实现框架4.1.1什么是虚拟运行4.1.2虚拟运行的入口——虚拟组装4.1.3虚拟运行的流程4.1.4动态模型求解4.1.5三维可视化技术4.2虚拟运行实例4.2.1.微悬臂梁机理模型求解与虚拟运行4.2.2微马达机理模型数值解与虚拟运行4.2.3微流量泵的模型与虚拟运行4.3小结参考文献第5章基于IP库的MEMS设计系统5.1基于IP库的MEMS设计方法5.1.1IP库的概念5.1.2基于IP库的MEMS设计流程5.2可视化建模方法——虚拟组装5.2.1虚拟组装的基本流程5.2.2基于节点分析法的虚拟组装5.2.3基于节点分析法的虚拟组装的实现5.3基于IP库的MEMS设计系统的形式化描述5.3.1IP库的形式化描述5.3.2系统功能形式化描述5.3.3设计系统的形式化描述5.4基于IP库的MEMS设计系统实现5.4.1基于IP库的MEMS设计系统的总体框架5.4.2IP模块及IP库的实现5.4.3微泵设计过程的实现5.4.4基于IP库的MEMS设计系统的器件设计5.5小结参考文献第6章MEMS器件设计案例6.1微镜光开关的设计6.1.1微镜光开关的总体设计6.1.2静电驱动光开关模型6.1.3光开关结构模态分析6.1.4光开关虚拟运行6.1.5虚拟工艺6.2硅微加速度计的设计6.2.1硅微加速度计概述6.2.2电容式微加速度计结构设计与分析6.2.3双端四梁微加速度计的虚拟工艺仿真6.2.4双端四梁微加速度计的虚拟组装6.2.5双端四梁加速度计的虚拟运行6.2.6加工结果及机械性能检验6.2.7封装及电路测试6.3静电驱动式微夹钳的设计6.3.1静电驱动式微夹钳概述6.3.2静电驱动式微夹钳结构设计与分析6.3.3虚拟工艺仿真6.3.4基于机械域等效结构的虚拟组装6.3.5基于电域的基本等效结构模型的虚拟运行6.3.6实际加工结果及其精度验证6.4小结参考文献《半导体科学与技术丛书》已出版书目
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开播时间:09月02日 10:30