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尹恩华 著 / 科学出版社 / 2015-06 / 平装
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上书时间2024-03-22
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现代高纯气体制取、分析与安全使用
《现代高纯气体:制取、分析与安全使用》从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等,各流程无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是《现代高纯气体:制取、分析与安全使用》的核心。《现代高纯气体:制取、分析与安全使用》介绍国内外最新文献,包括:吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是高纯气体分析的主体外,《现代高纯气体:制取、分析与安全使用》介绍最新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体,使用的安全措施尤为重要,故《现代高纯气体:制取、分析与安全使用》还介绍了容器、介质、传感器和废气的节能减排等相关知识。
前言第一章高纯气体与电子学的关系第一节高纯气的分类和应用一引言二根据半导体工艺用气的分类第二节气体纯度对半导体器件(光伏光纤)的影响一高纯气体在半导体中的具体应用分类二气体纯度和杂质及其表示方法三气体中的杂质分类四大规模集成电路对气体纯度的要求五气体中杂质对半导体器件(光伏光纤电光源)的影响参考文献第二章气体纯化第一节吸附与吸附剂一吸附分离二吸附剂的物理性质三吸附剂及其他纯化材料和性能四气固表面吸附平衡五吸附剂的具体应用六分子筛的其他应用七吸附树脂第二节精馏一蒸馏与精馏二气液相平衡及计算三相平衡常数及计算四简单蒸馏五精馏六精馏塔第三节其他纯化气体方法一膜分离技术二催化剂三吸杂剂四熔体合金五钯合金扩散净化六贮氢材料七离子液体第四节现代电子气体的制造和纯化一新型的吸附(催化)剂二周期表ⅠA族金属吸附剂(scavener)三电子用特气的脱除痕量水四超低发射(ultralowemision,ULE)碳五终端低温纯化器六各种电子气的纯化七电化学制备砷烷气体八三氟化氮萃取精馏纯化九六氟化钨的合成和纯化十六氟化钼的制备和纯化十一六氟化硫的合成和纯化十二氯气等卤化物气体纯化十三金属烷基化合物的制备和纯化十四三甲基硼的特点及纯化技术指标十五多级离心分离技术应用于气体纯化十六制备色谱第五节混合气的配制和纯化一常用集成电路混合气二电光源用混合气三激光混合气四电子混合气的典型浓度和技术指标五电子混合气配制精度六混合气的纯化——-镍磷催化剂制备参考文献附录第三章高纯气体分析第一节气相色谱分析一气相色谱法分析的对象二气相色谱分析仪器简介和方法三色谱术语和色谱峰四色谱的基本理论五色谱仪的构成六气相色谱痕量分析第二节痕量水氧的分析一痕量水分析二痕量氧分析第三节粒子分析一引言二微粒(金属杂质)对电子工业的重要性三大气尘的粒度分布四粒径五测定方法第四节现代高纯气体中痕量杂质分析一CMS测定砷烷中杂质二CICPMS锗烷中磷烷分析三CC多维色谱技术四浓缩(富集)法分析高纯气体中杂质实例五分析仪器小型化六其他的痕量气体分析仪器和分析方法参考文献第四章压力容器——-气瓶第一节气瓶一定义二气瓶的安全监督和管理三按安全管理的需要分类四气瓶命名规则五气瓶标志第二节气瓶附件一气瓶阀二气瓶压力泄放装置和回火防止器第三节低温液体贮运设备及其附件一引言二低温液体的特性和应用第四节气体安全和安全技术一燃烧和火灾事故二爆炸事故及防爆三气体毒物第五节现代气体贮存介质和容器一引言二离子液体三氟金属骨架材料四PP(polymerizedpolymeric)和POP(porousoranicpolymer)参考文献附录附图第五章危险性气体的检测和节能减排第一节气敏传感器一引言二常见气敏元件的分类三质量传感器四气敏传感器的应用五基于新材料和MEMS的传感技术六选择性的气敏传感器第二节节能减排实例一节能减排实例一二节能减排实例二三节能减排实例三四节能减排实例四五节能减排实例五六节能减排实例六七节能减排实例七参考文献附录附录1:常见电子气体国家标准(B/T)行业标准(H)编号列表(部分)附录2:国外电子气体标准(部分)296附录3:常用气相色谱图
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开播时间:09月02日 10:30