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原子层沉积制造技术及生物传感应用（无封面）

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刘磊 / 化学工业出版社 / 2024-03 / 其他

售价 50.00 3.2折

定价￥158.00

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图书 > 综合性图书
原子层沉积制造技术及生物传感应用
作者: 刘磊

出版社: 化学工业出版社

出版时间: 2024-03

版次: 1

ISBN: 9787122451248

定价: 158.00

装帧: 其他

开本: 16开

页数: 232页

字数: 233千字
内容简介：

本书系统介绍了原子层沉积技术及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积（ald）技术的基本、特点、系统和工作模式，聚焦于ald技术的拓展，涉及了ald在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ald技术基本的同时，介绍其在前沿领域的优选和实际应用。本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用，也可作为高等院校相关专业师生的参书。

作者简介：

无

目录：

1原子层沉积（ald）概述1

1.1原子层沉积技术2

1.2原子层沉积技术的特点7

1.3原子层沉积系统8

1.3.1横向流动式9

1.3.2垂直流动式9

1.3.3径向流动式10

1.4原子层沉积材料10

参文献11

2原子层沉积技术拓展15

2.1多金属源共馈ald16

2.1.1多金属源共馈ald16

2.1.2多金属源共馈ald系统17

2.1.3多金属源共馈ald沉积异质结构18

2.2等离子体增强ald技术19

2.2.1多金属源共馈ald20

2.2.2等离子体增强ald的特点21

2.2.3等离子体增强ald系统24

2.2.4等离子体增强ald沉积材料26

……

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F51

品相描述：八五品

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