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郑伟涛 著 / 化学工业出版社 / 2008-01 / 平装
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薄膜材料与薄膜技术(第2版)
本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识,重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征,对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。
本书技术先进,内容实用,适合于从事材料研究的科研、技术人员阅读参考,同时也可作为高校材料专业教材使用。
第一章 真空技术基础第一节 真空的基本知识一、表示真空程度的单位二、真空区域的划分三、固体对气体的吸附及气体的脱附第二节 真空的获得一、旋片式机械真空泵二、复合分子泵三、低温泵第三节 真空的测量一、电阻真空计二、热偶真空计三、电离真空计参考文献第二章 薄膜制备的化学方法第一节 热氧化生长第二节 化学气相沉积一、一般化学气相沉积反应二、化学气相沉积制备薄膜的传统方法三、激光化学气相沉积四、光化学气相沉积五、等离子体增强化学气相沉积第三节 电镀第四节 化学镀第五节 阳极反应沉积第六节 LB技术参考文献第三章 薄膜制备的物理方法第一节 真空蒸发一、真空蒸发沉积的物理原理二、真空蒸发技术第二节 溅射一、溅射的基本原理二、溅射镀膜的特点三、溅射参数四、溅射装置第三节 离子束和离子助一、离子镀二、阴极电弧等离子体沉积三、热空阴极枪蒸发四、离子轰击共沉积五、非平衡磁控离子助沉积六、离子束沉积第四节 外延生长一、分子束外延(MBE)二、液相外延生长(LPE)三、热壁外延生长(HWE)四、有机金属化学气相沉积(MOCVD)参考文献第四章 薄膜的形成与生长第一节 形核一、凝聚过程二、LangmuIR-Frenkel凝聚理论三、成核理论四、实验结果第二节 生长过程一、一般描述二、类液体合并三、沉积参数的影响第三节 薄膜的生长模式第四节 远离平衡态薄膜生长一、粗糙表面的结构和生长二、简单模型三、薄膜生长模型的实验研究参考文献第五章 薄膜表征第一节 薄膜厚度控制及测量一、沉积率和厚度监测仪……第六章 薄膜材料参考文献
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开播时间:09月02日 10:30