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李德胜 、 关佳亮 、 石照耀 著 / 科学出版社 / 2005-07 / 精装
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上书时间2025-10-16
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微纳米技术及其应用
《微纳米技术及其应用》在概述了微机电系统技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上,论述了MEMS基本理论基础,并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用,数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺;对各类微操作器/微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述,之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术。
《微纳米技术及其应用》可供微电子、机电一体化、精密仪器及仪表等专业研究与技术人员参考,也可作为相关专业高年级与研究生的教学参考书。
总序前言第一章绪论1.1MEMS的定义1.2国内外研究概况及展望1.3纳米技术及展望第二章MEMs基础理论2.1尺寸效应2.2微机械常用材料2.3微构造的机械特性2.4微构造的振动特性2.5微构造的热特性2.6摩擦磨耗的减少办法2.7微流路中液体的流动2.8微机械的驱动原理2.9超小型机械实现的障碍及对策第三章微机械制造技术3.1概j盔3.2体加工工艺3.3硅表面微机械加工技术3.4结合加工3.5逐次加工3.6LIGA技术3.7微机械加工技术中的微电子工艺和设备3.8本章小结第四章MEMscAD辅助分析和设计4.1ANSYS的主要技术特点4.2ANSYS使用中几个应注意的问题4.3ANSYS的分析步骤4.4微型电磁继电器受力及磁场分布的ANsYS模拟4.5ANsYS仿真分析的一些经验4.6Coventorware的主要技术特点4.7Coventorware分析的基本步骤4.8悬臂梁与硅基底间电容的计算和悬臂梁的受力分析第五章微传感器5.1传感器的基本物理效应5.2压阻效应与半导体应变传感器5.3电容式三维加速度计5.4振动式微陀螺仪5.5微型热式湿度传感器5.6微型光栅读码器5.7微型磁通门第六章微操作器6.1静电型微操作器6.2电磁型微操作器6.3热膨胀型操作器6.4压电型微操作器6.5微机械零件第七章微泵7.1压电陶瓷的振动解析7.2单向流动原理及泵流量7.3微阀机构7.4压电微泵第八章微机电系统8.1微机电系统的特点8.2微机电系统所面临的课题8.3微机电系统介绍第九章生物芯片9.1概述9.2生物芯片中常用的几种检测原理9.3生物芯片加工技术9.4生折芯片9.5结论第十章纳米技术10.1概述10.2纳米材料10.3纳米级加工技术10.4纳米测量技术10.5结束语参考文献
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图2
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开播时间:09月02日 10:30