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田民波 、 李正操 著 / 清华大学出版社 / 2011-12 / 平装
售价 ¥ 13.00 2.7折
定价 ¥49.00
品相 八五品
上书时间2020-06-01
材料科学与工程系列:薄膜技术与薄膜材料
《材料科学与工程系列:薄膜技术与薄膜材料》的应用范围极为广泛,从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光I.ED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等,涉及高新技术产业的各个领域。《材料科学与工程系列:薄膜技术与薄膜材料》内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分,涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面,知识全面,脉络清晰。全书共17章,文字通俗易懂,并配有大量图解,每章后面附有习题,有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。《材料科学与工程系列:薄膜技术与薄膜材料》可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材,对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员,也具有极为难得的参考价值。
第1章真空技术基础1.1真空的基本知识1.1.1真空定义1.1.2真空度量单位1.1.3真空区域划分1.1.4气体与蒸气1.2真空的表征1.2.1气体分子运动论1.2.2分子运动的平均自由程1.2.3气流与流导1.3气体分子与表面的相互作用1.3.1碰撞于表面的分子数1.3.2分子从表面的反射1.3.3蒸发速率1.3.4真空在薄膜制备中的作用习题第2章真空泵与真空规2.1真空泵2.1.1油封机械泵2.1.2扩散泵2.1.3吸附泵2.1.4溅射离子泵2.1.5升华泵2.1.6低温冷凝泵2.1.7涡轮分子泵和复合涡轮泵2.1.8干式机械泵2.2真空测量仪器——总压强计2.2.1麦克劳真空规2.2.2热传导真空规2.2.3电离真空计——电离规2.2.4盖斯勒管2.2.5隔膜真空规2.2.6真空规的安装方法2.3真空测量仪器——分压强计2.3.1磁偏转型质谱计2.3.2四极滤质器(四极质谱计)习题第3章真空装置的实际问题3.1排气的基础知识3.2材料的放气3.3排气时间的估算3.4实用的排气系统3.4.1离子泵系统3.4.2扩散泵系统3.4.3低温冷凝泵-分子泵系统3.4.4残留气体3.5检漏3.5.1检漏方法3.5.2检漏的实际操作3.6大气温度与湿度对装置的影响3.7烘烤用的内部加热器3.8化学活性气体的排气3.8.1主要装置及存在的问题3.8.2排气系统及其部件习题第4章气体放电和低温等离子体4.1带电粒子在电磁场中的运动4.1.1带电粒子在电场中的运动4.1.2带电粒子在磁场中的运动4.1.3带电粒子在电磁场中的运动4.1.4磁控管和电子回旋共振4.2气体原子的电离和激发4.2.1碰撞——能量传递过程4.2.2电离——正离子的形成4.2.3激发——亚稳原子的形成4.2.4圆复——退激发光4.2.5解离一一分解为单个原子或离子4.2.6附着——负离子的产生4.2.7复合——中性原子或原子团的形成……第5章薄膜生长与薄膜结构第6章真空蒸镀第7章离子镀和离子束沉积第8章溅射镀膜第9章化学气相沉积(CVD)第10章干法刻蚀第11章平坦化技术第12章表面改性及超硬膜第13章能量及信号变换用薄膜与器件第14章半导体器件、记录和存储用薄膜技术与薄膜材料第15章平板显示器中的薄膜技术与薄膜材料第16章太阳电池中的薄膜技术与薄膜材料第17章白光LED固体照明与薄膜技术参考文献作者书系
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开播时间:09月02日 10:30