第1章 透明导电氧化物薄膜概述
1.1 引言
1.2 太阳光谱基础知识
1.2.1 太阳常数与大气质量
1.2.2 太阳光谱分布
1.3 TCO薄膜的透明导电机理
1.3.1 TCO薄膜的透光性
1.3.2 TCO薄膜的导电性
1.3.3 导电性与透光性的关系
1.4 TCO薄膜的材料体系
1.4.1 n型掺杂TCO薄膜
1.4.2 p型掺杂TCO薄膜
1.4.3 多元氧化物复合TCO薄膜
1.4.4 非晶TCO薄膜
1.5TCO 薄膜的应用开发
1.5.1 太阳能电池
1.5.2 透明薄膜晶体管
1.5.3 其他方面的应用
参考文献
第2章 ZnOTCO薄膜的结构、特性及制备技术
2.1 引言
2.2 ZnO的晶体结构及基本性质
2.3 ZnO的能带结构
2.4 ZnOTCO薄膜的掺杂策略
2.4.1 化合价
2.4.2 离子半径
2.4.3 电负性
2.4.4 氧化态、离子外层电子构型
2.4.5 温度
2.4.6 Madelung能
2.5 ZnOTCO薄膜的制备技术
2.5.1 磁控溅射法
2.5.2 脉冲激光沉积法
2.5.3 电子束蒸发法
2.5.4 金属有机物化学气相沉积法
2.5.5 喷雾热分解法
2.5.6 溶胶凝胶法
2.5.7 电化学沉积法
2.5.8 水热法
2.5.9 化学浴沉积法
2.6 ZnO纳米线(或棒)阵列膜的可控生长
2.7 柔性衬底ZnOTCO薄膜的开发
2.7.1 柔性衬底材料
2.7.2 柔性 TCO 膜的制备技术
2.7.3 柔性衬底ZnOTCO膜的开发
2.8 绒面ZnOTCO薄膜的开发
参考文献
第3章 气相沉积法与湿化学沉积法的成膜机理
3.1 引言
3.2 气相沉积法的成膜机理
3.2.1 薄膜生长的热力学原理
3.2.2 气相沉积法成膜的动力学过程
3.3 溶胶凝胶法的成膜机理
3.3.1 成核与长大的热力学原理
3.3.2 成核与长大的动力学解释
参考文献
第4章 溶胶凝胶法制备ZnO基透明导电薄膜
4.1 引言
4.2 Solgel法制备ZnO薄膜的化学反应原理
4.3 Solgel法制备ZnO薄膜的工艺控制
4.3.1 溶胶体系
4.3.2 基片处理
4.3.3 镀膜工艺
4.3.4 热处理制度
4.3.5 工艺流程
4.4 Solgel法制备ZnO薄膜的热分解及晶化过程
4.4.1 TGDSC分析
4.4.2 晶相组成与结构表征
4.5 Al掺杂对ZnO薄膜结构及光电性能的影响
4.5.1 晶相组成与结构表征
4.5.2 光学性能
4.5.3 电学性能
4.6 AlSc共掺杂对ZnO薄膜结构及光电性能的影响
4.6.1 工艺流程
4.6.2 晶相组成与结构表征
4.6.3 光学性能
4.6.4 电学性能
4.6.5 掺杂机制的解释
参考文献
第5章 喷雾热分解法制备ZnO基透明导电薄膜
第6章 电沉积法制备ZnO基透明导电薄膜
第7章 化学浴沉积法制备ZnO基薄膜
第8章 染料敏化ZnO纳米线(或棒)阵列太阳能电池
参考文献