全新正版图书 中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题中国信息与电子工程科技发展战略科学出版社9787030623591 黎明书店
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作者:
中国信息与电子工程科技发展战略研究中心[编著]
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出版社:
科学出版社
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ISBN:
9787030623591
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出版时间:
2019-10
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作者:
中国信息与电子工程科技发展战略研究中心[编著]
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出版社:
科学出版社
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ISBN:
9787030623591
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上书时间2024-01-25
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在集成电路产业中,芯片制造技术是产业链中的核心环节之一。本书尝试从芯片大生产制造的角度,介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术(与《中国电子信息工程科技发展研究:集成电路产业专题》衔接)。试图以产业发展主流工艺为导向,侧重原理和产业应用实际相结合,尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工行描述,并在介绍单项工艺后,解释具有复杂系统工程艺集成技术难点。介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。后讨论芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。本书对国家不同层面和不同领域的各界专家学者、工程科技管理人才、科研工作者、在校相关专业学生具有较高的参考价值。
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